HORIBA压力控制器 PV－10002000系列奇亿/注册平台，HOIRBA拥有丰富多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器包含数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门。晶圆冷却系统使用氦气以降低热损害。排气压力控制器可始终维持腔体内压力的稳定。这些器件始终致力于提高制程工艺中的成品率。

　　HORIBA压力控制器 UR系列产品为使用高精度压力传感器及高效，响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器。它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是非常有名的，以及拥有世界最大的市场份额。

　　HORIBA压力控制器 PV－1000/2000系列由陶瓷晶体阀和金属主体和金属密封圈组成，再由压力传感器或流量传感器和一个比率控制器来进行压力控制或流量控制。陶瓷晶体驱动阀：陶瓷晶体阀系列根据外部单元控制信号来实现压力控制功能。压力信号来自压力传感器外部控制信号单元PCU－1000/2000，控制单元会通过节内部电路计算出最佳的控制方式并输出给陶瓷晶体阀来实现压力控制。且PCU－2100同时具有压力控制信号设定功能。

　　HORIBA流量控制器 EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成，此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。